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纳米压痕仪被称为材料机械性质微探针，它借助于加载一卸载过程中压痕对载荷和压入深度的敏感关系，使得测试始终在薄膜材料的弹性限度内，克服了维氏法和努氏法等传统方法引起压痕边缘模糊或者碎裂的缺点，从而正确地、可靠地测试出薄膜材料的硬度和弹性模量等纳米力学性能。试验用微波电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积技术，在不同偏压条件下制备三种类金刚石薄膜（DLC膜），用纳米压痕仪测试不同载荷下薄膜的硬度和弹性模量值。试验结果表明，材料的纳米硬度和弹性模量随着载荷的增大而逐渐减小。