【摘 要】
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在工业应用中,大多数情况下的复合结构介质仅有一面可以被检测,因此需要研究反射模式下检测介质内部参数的太赫兹无损检测方法.推导了反射模式下太赫兹波在三层结构介质中的
【机 构】
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中国科学院国家空间科学中心微波遥感重点实验室,中国科学院大学,齐鲁工业大学（山东科学院）自动化研究所山东省科学院超宽带与太赫兹重点实验室
【基金项目】
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Department of Science and Technology of Shandong Province(No.2019GGX104064),Shandong Academy of Sciences(Nos.2018XXY-19,2019-CXY12).
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在工业应用中,大多数情况下的复合结构介质仅有一面可以被检测,因此需要研究反射模式下检测介质内部参数的太赫兹无损检测方法.推导了反射模式下太赫兹波在三层结构介质中的传输模型,通过遗传算法共同反演估计得到中间分层的厚度,以及它的折射率,从而获得中间隐藏层的具体信息.制备了具有200μm的隐藏分层的三层结构样品,利用太赫兹时域光谱系统对其进行了测量,将理论模型与实测数据进行对比,利用遗传算法估计得到隐藏层的厚度和折射率,将厚度估计值与测厚仪测量结果对比,误差保持在4%以内,折射率估计值与实际值相比,误差范围波动
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