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以静电学理论为基础，采用边界元方法对Ｓｐｉｎｄｔ型真空微三极管系统的极间电容进行了数值模拟，通过计算多导体系统电荷求解极间电容的方法，解决了以往电容数值计算中未解决的第三电极影响和栅极厚度的问题，并通过计算结果真空微电子器件的应用和优化方在对极间电容与器件几何参数的关系进行了系统的研究，分析结果对真空微电子微波器件的设计有指导作用，所建立的微三极管边界元法计算模型对其它结构的真空微电子器件的电容分