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介绍了利用Michelson干涉仪测量CCD调制传递函数的方法，与其他方法相比，该方法具有测量装置简单、将正弦图样投射到待测cCD阵列上无需借助光学系统等特点。给出了典型的线阵和面阵CCD的调制传递函数曲线的测量结果。
利用Michelson干涉仪测量CCD的调制传递函数
【摘 要】
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介绍了利用Michelson干涉仪测量CCD调制传递函数的方法，与其他方法相比，该方法具有测量装置简单、将正弦图样投射到待测cCD阵列上无需借助光学系统等特点。给出了典型的线阵和
【机 构】
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大连民族学院光电子技术研究所,辽宁师范大学物理系
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2005年B03期
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