【摘 要】
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要:随着我国重大建设项目的日益增多,核电设施、大型桥梁、大科学装置等重要建筑工程对其所处环境的振动控制要求愈发苛刻,对工程振动的监测需求也日益强烈.基于硅微加工和超精密制造的MEMS加速度计集成度更高、尺寸更小、功耗和成本更低,高度契合需要使用极多加速度计的振动环境监测的应用需求.文中介绍了压电式和电容式MEMS加速度计的测量原理、技术特征和发展历程,以及它们所构成无线传感网络在国内外重要建筑上的结构健康监测应用,并根据振动监测系统技术发展需求,展望了MEMS加速度计的发展方向.
【机 构】
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国机集团科学技术研究院有限公司,北京 100050;国机集团工程振动控制技术研究中心,北京 100020;国机集团科学技术研究院有限公司,北京 100050
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要:随着我国重大建设项目的日益增多,核电设施、大型桥梁、大科学装置等重要建筑工程对其所处环境的振动控制要求愈发苛刻,对工程振动的监测需求也日益强烈.基于硅微加工和超精密制造的MEMS加速度计集成度更高、尺寸更小、功耗和成本更低,高度契合需要使用极多加速度计的振动环境监测的应用需求.文中介绍了压电式和电容式MEMS加速度计的测量原理、技术特征和发展历程,以及它们所构成无线传感网络在国内外重要建筑上的结构健康监测应用,并根据振动监测系统技术发展需求,展望了MEMS加速度计的发展方向.
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