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多晶硅还原预热启动方式中，有很多种启动方式，国内大部分最先采用的是氯气气氛下用卤素灯加热预启动方式，或者用三相高压击穿启动。然而上述方式都存在启动时间长、设备成本较高等问题。因此针对现有多晶硅还原炉启动，本文介绍了一种高压击穿二相烘烤一相的启动方式，更高效，更经济，更稳定。
12对棒还原炉预热启动方式的优化研究
【摘 要】
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多晶硅还原预热启动方式中，有很多种启动方式，国内大部分最先采用的是氯气气氛下用卤素灯加热预启动方式，或者用三相高压击穿启动。然而上述方式都存在启动时间长、设备成本较高
【机 构】
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东汽峨眉半导体材料厂（所）
【出 处】
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东方电气评论
【发表日期】
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2011年1期
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