激光参加制造更小集成电路的竞争

来源 :激光与光电子学进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cassyqc
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几年前,3 μm还是先进的电子集成电路块的最小特征尺寸。然而不久小型化进程就加速了。先是减小到2 μm,然后是1 μm。现在,先进产品的几何尺寸正在接近仅0.8 μm的特征 尺寸,已经开始迈向0.5 μm。
其他文献
70年代的重要学科之——海洋探索——被提出来了,激光在水中的应用就必然引起人们的重视。激光在水中发挥其威力的可能性很大。激光在水中引起人们重视的理由是由于无线电波和微波在水中无法传播,因而现在地上使用的通讯机和雷达在水中几乎不能使用。在水中能无线传输信息的是超声波,后来是光波。声波和光波各自具备不同的优点和缺点,它们相互补充可以起到在陆地上无线电波和微波同样的作用。
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本文叙述了利用液芯光纤技术获得最佳自发喇曼光谱的方法和条件。用16mW He-Ne激束为泵光浦源,获得了较高强度的溴苯自发喇曼光谱。首次用测量喇曼信号强度的方法,计算出光纤衰损系数α,从而获得了最大喇曼光谱所对应的最佳光纤长度。本文以150 mW Ar离子(488nm)激光器为光源,用Spex1403喇曼系统,得到了丰富的溴苯喇曼光谱,比用普通方法获得的喇曼光谱强度高两个数量级。实验结果与理论计算基本符合。
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Traditional integral colorimeters use tungsten–halogen or xenon lamps for illumination, as well as correcting filters to make the instrument's spectral response meet the Luther condition. This structure causes the instruments to have relatively higher er
强激光作用下H型聚乙烯醇碘薄膜人造偏振片的透过率呈反常特性,本文给出了对此现象进行的实验研究及其机理解释。
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针对高温稠密激光等离子体临界密度附近电子密度的诊断需求,发展了基于软X射线激光的软X射线双频光栅干涉诊断技术.利用波长13.9 nm的类镍银软X射线激光作为探针,掠入射式的双频光栅作为分光干涉元件,对激光辐照金平面靶产生的等离子体进行诊断尝试.实验获得了清晰的干涉条纹图像,充分表明该技术的实用性.但结果中存在靶面不清晰等问题,为此,提出了初步的解决方案.
Activating transitions between internal states of physical systems has emerged as an appealing approach to create lattices and complex networks. In such a scheme, the internal states or modes of a physical system are regarded as lattice sites or network n
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基于H/A/α极化分解方法分析了GF-3全极化合成孔径雷达(SAR)的散射特性,并结合近同时相RADARSAT-2全极化SAR影像,分析了二者典型地物的极化散射特征,提出了基于传统H-α散射特征平面以及改进的类内聚合度和类间离散度的极化测量精度的评价方法。结果表明:GF-3全极化SAR不同地物的极化散射特性明显,三类地物的散射熵和散射角的平均偏差分别约为0.101和6.923,均优于RADARSA