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文章提出了时间－边界跟踪模型的定义，阐述了用该模型确定抗蚀剂显影后的轮廓分布的方法，并给出了模拟计算结果。
用时间—边界跟踪模型确定抗蚀剂显影后的轮廓分布
【摘 要】
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文章提出了时间－边界跟踪模型的定义，阐述了用该模型确定抗蚀剂显影后的轮廓分布的方法，并给出了模拟计算结果。
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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1997年6期
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