【摘 要】
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在FAIMS（High-field Asymmetric Waveform Ion Mobility Spectrometry）系统研究中,基于新型MEMS（Micro-Electro-Me-chanical-System）工艺加工的平板式迁移区需求,提出一个新型的F
【机 构】
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中北大学电子测试技术国家重点实验室,清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室
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在FAIMS（High-field Asymmetric Waveform Ion Mobility Spectrometry）系统研究中,基于新型MEMS（Micro-Electro-Me-chanical-System）工艺加工的平板式迁移区需求,提出一个新型的FAIMS仪用高场非对称方波RF电源系统设计方案,以TMS320F2812为信号发生及控制核心,对逆变电路结构进行优化设计,并进行电磁兼容及电源完整性分析设计,很好的实现高场非对称方波电压波形输出。并在射频干扰下,对补偿电压进行准确采集。
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