【摘 要】
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纳米薄膜材料是一种二维的纳米材料,其在厚度方向的尺寸处于纳米量级（0.1～100nm）。由于这种特殊的结构,纳米薄膜材料可以在光、电、热、磁等方面表现出优异的性能,是一种先进的
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纳米薄膜材料是一种二维的纳米材料,其在厚度方向的尺寸处于纳米量级（0.1～100nm）。由于这种特殊的结构,纳米薄膜材料可以在光、电、热、磁等方面表现出优异的性能,是一种先进的功能材料。那么,纳米薄膜材料是怎么制备出来的？其原理是什么？纳米薄膜的性能如何测试？纳米薄膜制备出来后又如何应用于器件产品？……文章以磁控溅射FeNi薄膜为例,概要介绍了磁控溅射的镀膜方法,以及薄膜制备与性能测试分析的关键仪器设备,并对FeNi薄膜在传感器领域中的应用进行了简单介绍。
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