【摘 要】
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研究微米级倒装组装焊点在150℃热时效过程中界面金属间化合物（intermet-alic compound，IMC）的形成及演化．结果表明，在热时效300h后，受铜焊盘界面扩散过来的Cu原子影响，镍焊盘界面（Ni
【机 构】
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河南工业大学机电工程学院,华中科技大学材料科学与工程学院,清华大学仪器与机械学系
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研究微米级倒装组装焊点在150℃热时效过程中界面金属间化合物（intermet-alic compound，IMC）的形成及演化．结果表明，在热时效300h后，受铜焊盘界面扩散过来的Cu原子影响，镍焊盘界面（Ni，Cu）3Sn4全部转化成（Cu，Ni）6Sn5；在铜焊盘界面，热时效至100h后，形成一层薄的Cu3Sn，在随后的热时效过程中，由于Ni原子对Cu3Sn生长的抑制作用，Cu3Sn几乎没有生长．此外在时效100h内，两侧界面（Cu，Ni）。Sn，生长速率增加较快，但随着时效时间的增加逐渐减慢．两侧
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