【摘 要】
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探讨传输/反射法测量时,修正样品定位误差的一种可能方法。考虑到理想情况下,样品两侧散射系数S11与S22、S12与S21分别相等,在根据测量的同轴线夹具两端的散射系数S^0计算样
【机 构】
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南京邮电大学电子与光学工程学院、微电子学院
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(61574079).
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探讨传输/反射法测量时,修正样品定位误差的一种可能方法。考虑到理想情况下,样品两侧散射系数S11与S22、S12与S21分别相等,在根据测量的同轴线夹具两端的散射系数S^0计算样品两侧的散射系数S时,搜寻S11与S22差异最小的位置,作为样品的确切位置,来减小误差。测量实例表明,该方法可有效修正定位误差,同时,S11与S22间偏离程度反映了误差的大小,可用来评估实验结果的合理性。该研究有助于深化对传输/反射法测量误差的认识,进一步探讨修正误差的可行途径。
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