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本文报告用原子力显微镜(AFM)测量金刚石精密加工表面的微观结构,获得了用机械抛光法与热化学抛光法得到的表面纳米级形貌.前者呈直线纹理,反映出金刚石磨料的刮削机理,后者表面较平滑,无明显加工纹理,但在磨削方向出现一些蚀坑,反映出碳原子扩散的化学磨削机理.
原子力显微镜在金刚石表面微结构分析中的应用
【摘 要】
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本文报告用原子力显微镜(AFM)测量金刚石精密加工表面的微观结构,获得了用机械抛光法与热化学抛光法得到的表面纳米级形貌.前者呈直线纹理,反映出金刚石磨料的刮削机理,后者
【机 构】
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中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,中国科学技术大学
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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2001年5期
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