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近十几年来在软X射线波段光学中取得的进展，很大程度上与法向入射多层干涉反射镜的出现有关[1，2]。这些反射镜通常由两种介电常数不同的物质的交替层组成。理论分析表明，为了获得最大反射率，其中一种物质的吸收应尽可能小[3~5]。
用电子束減射法制备钛-铍X射线反射镜的研究
【摘 要】
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近十几年来在软X射线波段光学中取得的进展，很大程度上与法向入射多层干涉反射镜的出现有关[1，2]。这些反射镜通常由两种介电常数不同的物质的交替层组成。理论分析表明，为了获得最大反射率，其中一种物质的吸收应尽可能小[3~5]。
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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1988年25期
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