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本文介绍通过扫描电镜采用“电子束诱导沉积”法制备高质量导电原子力显微镜针尖的制备原理.
用扫描电镜制备高性能AFM针尖
【摘 要】
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本文介绍通过扫描电镜采用“电子束诱导沉积”法制备高质量导电原子力显微镜针尖的制备原理.
【机 构】
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北京大学电子显微镜实验室(北京)
【出 处】
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第二届全国扫描电子显微学术会议
【发表日期】
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2001年8期
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