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微细加工技术是现代机电领域新兴学科微机电系统(MEMS)研究的关键技术之一.分析了近年来微机械领域的主要微细加工方法、能达到的加工尺度与水平、加工范畴及应用;阐述了微细加工技术的发展趋势.
微细加工技术与应用
【摘 要】
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微细加工技术是现代机电领域新兴学科微机电系统(MEMS)研究的关键技术之一.分析了近年来微机械领域的主要微细加工方法、能达到的加工尺度与水平、加工范畴及应用;阐述了微细
【机 构】
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无锡职业技术学院
【出 处】
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机械制造与自动化
【发表日期】
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2005年6期
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