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低温等离子体废气处理技术正越来越引起人们的重视，它是未来环保产业的重要发展方向。由于强温室气体SF6本身的理化特性，等离子体处理SF6面临着更多的挑战，目前该方面的研究综述鲜见。本文尝试根据国内外已有的文献资料，阐述了等离子体处理SF6的反应机理和其三个评价指标，从射频、微波和介质阻挡放电三种主要的处理SF6的等离子体出发论述了降解过程各个因素对降解率、能量效率以及最终降解产物的影响。同时，提出了等离子体处理SF6需要进一步解决的问题和今后的研究方向，并对其工业化进行了可行性分析。