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表面质量是8英寸硅外延片的关键技术指标,也是影响下游芯片、器件成品率的重要因素.本文通过设备工艺改进、强化现场6S管理、重点突出标准化作业指导,不断提升8英寸硅外延片表面质量,扩大产业化成果,开创国内国际市场,以科技创新促进企业高质量发展,在保证国产芯片、器件供应链安全的同时也带动了产业链上下游企业的产业整合与提升.