论文部分内容阅读
金属互连线中的电迁移现象是导致互连线失效的主要原因，影响电迁移（EM）的因素有温度、电流、材料特性和互连线的几何尺寸等。采用有限元分析方法，探究导致电迁移的这些因素的工作机制，以及这些机制之间的相互影响，并且采用原子通量散度（AFD）来衡量电迁移的大小。使用先进的自动建模并仿真的方法，得到互连线的材料属性、几何尺寸、电流密度，以及外界环境温度与AFD的关系，通过AFD的变化规律分析互连线的可靠性。结果表明，温度升高、电流增大、尺寸减小，都会降低互连线的可靠性。