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设计了一种小型方柱弯曲旋转压电超声电机，即摇头式压电陶瓷超声电机。该电机采用带圆孔的金属方柱作为电机的定子部分，并在方柱的4个垂直表面分别粘贴沿厚度方向极化的压电陶瓷片，其外形尺寸小于6mm×6mm×10mm。利用有限元分析软件ANSYS对电机的工作模态进行了模拟计算，得到金属方柱定子的一阶弯曲振动频率为125．5kHz；并对其工作状态进行了谐响应分析，得到X（Y）、Z向振幅，由此计算得到定、转子之间的最优接触角，约为24．5°。采用激光多普勒测振仪（Polytec300-F