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将一种新型组合光亮剂用于碱性镀铜工艺中，利用极化曲线、赫尔槽样板法、扫描电子显微镜（SEM）及X射线衍射（XRD）等分析了组合光亮剂中各添加剂对镀液极化能力的影响，研究了镀液的分散、覆盖能力，镀层的结合能力、表面形貌、组成及晶体结构。结果表明：组合光亮剂中4种添加剂均能提高镀液的极化能力，在铜沉积过程中具有不同的作用；电流密度为1～10A／dm^2时，铜镀层晶粒均匀细致；镀层厚度较薄时满足（111）和（220）晶面择优取向协同生长的方式，而中等厚度的镀层趋向于（111）晶面择优取向生长。