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采用无机溶胶-凝胶法制备了VO2热致变色薄膜,利用XPS系统地研究了烘干温度、真空热处理温度以及溶胶浓度对VO2薄膜中钒价态的影响.结果表明,保持其它工艺参数不变,薄膜中V5+被还原的程度随烘干温度和真空热处理温度升高而增大.当烘干温度、烘干时间和真空热处理时间以及真空气压相同时,随溶胶浓度减小,VO2薄膜中V5+被还原程度存在真空热处理温度临界点,当溶胶浓度配比为1:4～1:3时,临界温度为480 ℃;溶胶浓度配比为1:3～1:2时,临界温度为400 ℃.制备高纯VO2薄膜的优化工艺参数组合为溶胶浓度配