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液态抗蚀剂MT—UV—6100系列的应用

来源 :电子机械工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：leobear

【摘 要】

：

本文介绍了ＭＴ－ＵＶ－６１００系列液态抗蚀剂，此外，本文就反应机理，制作工艺流程，曝光与显影参数对质量的影响等方面进行了详细论述。

【作 者】

：

石磊 

【机 构】

：

南京电子技术研究所

【出 处】

：

电子机械工程

【发表日期】

：

2000年3期

【关键词】

：

液态抗蚀剂 抗蚀图形 丝网漏印 印刷电路板 Wet filmEtching-resist inkEtching-resist patternScreen pri 

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本文介绍了ＭＴ－ＵＶ－６１００系列液态抗蚀剂，此外，本文就反应机理，制作工艺流程，曝光与显影参数对质量的影响等方面进行了详细论述。

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