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采用热重-差热（TG-DTA）与气-质联用（GC-Ms）研究了CVD技术制备钯膜材料的前驱体乙酰丙酮钯[Pd（acac）2]的热分解行为。通过对比其在空气和氩气两种气氛、不同温度下的热裂解产物，认为在以乙酰丙酮钯为前驱体通过CVD技术制备钯膜时，空气比氩气更适合做载气。
乙酰丙酮钯（Ⅱ）的热分解行为
【摘 要】
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采用热重-差热（TG-DTA）与气-质联用（GC-Ms）研究了CVD技术制备钯膜材料的前驱体乙酰丙酮钯[Pd（acac）2]的热分解行为。通过对比其在空气和氩气两种气氛、不同温度下的热裂解产物，认为
【机 构】
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昆明贵金属研究所国家贵金属材料工程研究中心,云南瑞升科技有限公司
【出 处】
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稀有金属材料与工程
【发表日期】
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2006年1期
【基金项目】
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国家科研院所技术开发研究专项基金（2004EG115047）和云南省科研院所技术开发研究专项基金（2003KFZX-15）
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