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乙酰丙酮钯(Ⅱ)的热分解行为
乙酰丙酮钯(Ⅱ)的热分解行为
来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dick_ust
【摘 要】
:
采用热重-差热(TG-DTA)与气-质联用(GC-Ms)研究了CVD技术制备钯膜材料的前驱体乙酰丙酮钯[Pd(acac)2]的热分解行为。通过对比其在空气和氩气两种气氛、不同温度下的热裂解产物,认为
【作 者】
:
梁广
高文桂
刘伟平
普绍平
闫革新
侯英
【机 构】
:
昆明贵金属研究所国家贵金属材料工程研究中心,云南瑞升科技有限公司
【出 处】
:
稀有金属材料与工程
【发表日期】
:
2006年1期
【关键词】
:
化学气相沉积
乙酰丙酮钯
热分解行为
CVD
palladium(Ⅱ) acetylacetonate
TG-DTA
GC-MS
thermal dec
【基金项目】
:
国家科研院所技术开发研究专项基金(2004EG115047)和云南省科研院所技术开发研究专项基金(2003KFZX-15)
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采用热重-差热(TG-DTA)与气-质联用(GC-Ms)研究了CVD技术制备钯膜材料的前驱体乙酰丙酮钯[Pd(acac)2]的热分解行为。通过对比其在空气和氩气两种气氛、不同温度下的热裂解产物,认为在以乙酰丙酮钯为前驱体通过CVD技术制备钯膜时,空气比氩气更适合做载气。
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