乙酰丙酮钯(Ⅱ)的热分解行为

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dick_ust
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采用热重-差热(TG-DTA)与气-质联用(GC-Ms)研究了CVD技术制备钯膜材料的前驱体乙酰丙酮钯[Pd(acac)2]的热分解行为。通过对比其在空气和氩气两种气氛、不同温度下的热裂解产物,认为在以乙酰丙酮钯为前驱体通过CVD技术制备钯膜时,空气比氩气更适合做载气。
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