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本文介绍了微电子机械系统及其技术的一般含义，并对微电子机械系统的典型结构作了详细阐述，最后对其应用前景进行了简单分析。
微电子机械系统及其应用
【摘 要】
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本文介绍了微电子机械系统及其技术的一般含义，并对微电子机械系统的典型结构作了详细阐述，最后对其应用前景进行了简单分析。
【机 构】
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上海交通大学信息存储研究中心,上海交通大学自动化研究所
【出 处】
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电子机械工程
【发表日期】
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1996年6期
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