【摘 要】
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本文研究了离子注入过程中样品表面碳污染的来源,以及各种注入因素对碳膜厚度的影响。文中对碳膜沉积对离子注入样品的性能影响也给予了适当的讨论。
This paper studies th
【机 构】
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兰州大学物理系 兰州 730000
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本文研究了离子注入过程中样品表面碳污染的来源,以及各种注入因素对碳膜厚度的影响。文中对碳膜沉积对离子注入样品的性能影响也给予了适当的讨论。
This paper studies the sources of carbon contamination on the sample surface during ion implantation and the effects of various injection factors on the carbon film thickness. The effect of carbon film deposition on the properties of ion-implanted samples is also discussed in detail.
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