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重点对半导体分立器件制造工艺的可靠性进行分析,分析关键工艺和工艺缺陷对半导体分立器件的可靠性及质量上的影响因素及相应的控制方法 ,进一步研究半导体分立器件制造工艺的可靠性。
浅谈半导体分立器件的制造工艺可靠性问题
【摘 要】
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重点对半导体分立器件制造工艺的可靠性进行分析,分析关键工艺和工艺缺陷对半导体分立器件的可靠性及质量上的影响因素及相应的控制方法 ,进一步研究半导体分立器件制造工艺
【机 构】
：
大连耐恩电气有限公司
【出 处】
：
电子制作
【发表日期】
：
2014年1X期
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