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为了研究铜薄膜厚度的变化对飞秒激光烧蚀铜薄膜过程的影响，考虑反射率和吸收率随温度变化的特性，采用抛物线型双温模型，使用隐式差分的方法进行离散化，对250、500、1000nm三种不同厚度铜纳米薄膜，在脉宽为100fs、能量密度为6500的激光烧蚀下，铜纳米薄膜表面的电子温度、晶格温度、反射率、熔化深度的变化进行计算。计算结果表明：铜纳米薄膜厚度的增加对表面电子温度的影响不明显，对表面晶格温度的影响较大，熔化深度具有较大幅度的减小；在烧蚀过程中，薄膜表面的反射率和吸收率有明显的下降，将其考虑为常数处理是欠稳