论文部分内容阅读
设计了一种MEMS器件三维结构生成的方法,介绍了结合工艺流程实现转换的全过程,对相关算法进行了详细论述.结合工艺流程时首先将二维版图文件预处理,加载器件工艺流程后,程序实现相关参数选择后并存储.给定了工艺步骤的搭配关系,进行工艺解释后,进行三维实体绘制输出.编程实现的可执行文件可对多种MEMS器件进行正确的三维描述,从而验证了该三维生成的方法.