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改进类金刚石薄膜的制备工艺,在一定的氢气组分和衬底偏压条件下所得薄膜具有较宽的可见光透过特性。用于硅太阳电池时,可在较宽的波长范围(550nm—1000nm)内改善电池的光谱特性,使短路电流增益率达到38％。
类金刚石薄膜可见光透过特性的研究和应用
【摘 要】
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改进类金刚石薄膜的制备工艺,在一定的氢气组分和衬底偏压条件下所得薄膜具有较宽的可见光透过特性。用于硅太阳电池时,可在较宽的波长范围(550nm—1000nm)内改善电池的光谱
【机 构】
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上海科技大学材料科学系,上海科技大学材料科学系上海201800,上海201800
【出 处】
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太阳能学报
【发表日期】
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1992年3期
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