【摘 要】
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研究了块体金属玻璃（块体非晶合金）Zr65Al7.5Ni10Cu17.5,Co61.2B26.2Si7.8Ta4.8和金属多晶钼3种第一镜材料经低温等离子体H和Ar辐照后的表面特性变化。结果表明,两种块体金属玻
【机 构】
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大连理工大学材料科学与工程学院,中国科学院大连化学物理研究所中国科学院化学激光重点实验室
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研究了块体金属玻璃（块体非晶合金）Zr65Al7.5Ni10Cu17.5,Co61.2B26.2Si7.8Ta4.8和金属多晶钼3种第一镜材料经低温等离子体H和Ar辐照后的表面特性变化。结果表明,两种块体金属玻璃的抗H等离子体溅射能力与其成分有关。随着等离子体辐照时间的增加,金属多晶钼和块体金属玻璃Zr65Al7.5Ni10Cu17.5的表面粗糙度增大,镜面反射率降低;而块体金属玻璃Co61.2B26.2Si7.8Ta4.8的表面粗糙度减小,镜面反射率升高。X射线衍射仪（XRD）分析表明,块体金属玻璃在离
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