【摘 要】
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实现了熔融KOH进行SiC体单晶择优腐蚀估测缺陷密度的方法.本文报道了采用该技术对体SiC单晶缺陷密度估测的结果.腐蚀会在Si面形成六边形腐蚀坑,在C面形成圆形腐蚀坑.腐蚀速率
【机 构】
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西安理工大学电子工程系,西安理工大学电子工程系,西安理工大学电子工程系 西安 710048,西安 710048,西安 710048
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实现了熔融KOH进行SiC体单晶择优腐蚀估测缺陷密度的方法.本文报道了采用该技术对体SiC单晶缺陷密度估测的结果.腐蚀会在Si面形成六边形腐蚀坑,在C面形成圆形腐蚀坑.腐蚀速率和蚀坑形状与SiC生长工艺有关.对在高生长气流量下用PVT工艺制备的SiC样品,其刃位错、螺位错与微管密度分别为2.82×105,94和38cm-2;对在低生长气流量下用PVT工艺制备的SiC样品,其上述缺陷密度分别为9.34×105,2和29cm-2.结果表明:随着生长气体流量的增加,由于避免了N2掺杂,刃位错密度下降.
A method to predict the defect density of SiC single crystal by melting KOH was achieved.This paper reports the result of estimating the defect density of the bulk SiC by using this technique.Erosion can form hexagonal corrosion pits on the Si surface, And the shape of corrosion pits is related to the SiC growth process.The edge dislocation, screw dislocation and micro-tube density of SiC samples prepared by PVT process at high growth gas flow were 2.82 × 105, 94 and 38cm-2, respectively.The defect density of the SiC samples prepared by the PVT process at low growth gas flow rates was 9.34 × 105,2 and 29cm-2, respectively.The results showed that with the increase of the growth gas flow rate, Due to the avoidance of N2 doping, the edge dislocation density decreases.
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