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在氟化钾一尿素电解液体系下，应用液相等离子体电解碳氮共渗技术，在工具钢表面制备出了高硬度、耐磨、耐蚀的渗透层，并应用金相显微镜、X射线衍射仪和扫描电镜对渗层进行了观察和分析。结果表明，6min左右即可在工件表面形成厚度约为50μm的渗层，渗入的C、N元素主要以Fe2（C，N）相形式存在，且渗层中C、N的含量随离表面距离增加衰减。