过氧化氢—硫酸刻蚀新工艺

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在印刷电路工业中,用过氧化氢—硫酸混合液作为最终刻蚀已获满意的应用。本文讨论了这种刻蚀液用喷淋和浸渍两种方式时正、反两个方面的看法;讨论了溶液中硫酸和过氧化氢浓度、温度、添加剂以及杂质对溶液性能的影响。也谈到了刻蚀液中铜的回收方法。 In the printed circuit industry, the use of a hydrogen peroxide-sulfuric acid mixture as the final etch has been satisfactory. In this paper, we discuss the positive and negative aspects of this etching solution by both spraying and dipping methods. The effects of sulfuric acid and hydrogen peroxide concentration, temperature, additives and impurities on the solution performance are discussed. Also talked about the etching solution copper recovery method.
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