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由于ＳＩＭＳ具有高的杂质检测灵敏度，并能进行全元素分析，所以在微电子、冶金、地质等领域得到广泛应用。近年来，随着ＳＩＭＳ图像数字化处理系统的开发，进一步开拓了ＳＩＭＳ的三维微分析功能［１］。通过一次实验即可完成杂质元素的线分布、面分布和微区深度分布的三维分析。本文通过马口铁抗腐蚀性能分析结果，简要介绍ＣＣＤ－ＳＩＭＳ图像数字系统的原理和有关功能。