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利用射频磁控溅射方法以不同的溅射功率（80～130W）制备出具备紫外增透性能的BCN，BC2N和BGN薄膜。傅里叶红外吸收光谱和X射线光电子能谱测量发现样品的组成原子之间均实现了原子级化合。溅射功率对薄膜的组分和紫外增透性能有很大影响，其通过改变薄膜组分而影响紫外增透性能，且碳原子数小的样品紫外增透性能好。以110W条件下制备的BCN薄膜中碳原子数最小，它的紫外增透性能最好，在200-350nm波段附近平均透过率比玻璃提高了将近40％。