微流控低通二阶滤波器的特性研究

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微流控滤波器对于交变流路选频,获得特定频率或稳定的交流流体输出具有重要作用。利用微流控等效电路理论设计了一个π型微流控二阶低通滤波器。该微流控滤波器由三段矩形微流道与两个微腔组成,通过改变微流道的深宽比和微腔的半径,分析了该滤波器的带宽特性。结果表明,随着微通道的深宽比减小,滤波器的截止频率按指数衰减;截止频率随着微腔半径的增加也呈指数下降。验证了微流控等效理论分析结果与流路仿真结果一致。
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