【摘 要】
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根据利用高能同轴背散射电子的扫描电子显微镜的工作原理，用蒙特卡罗方法模拟了电子束在样品中的相互作用范围，分析被探测电子的出射深度分布、计算了逸出面密度分布、平均进入
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根据利用高能同轴背散射电子的扫描电子显微镜的工作原理，用蒙特卡罗方法模拟了电子束在样品中的相互作用范围，分析被探测电子的出射深度分布、计算了逸出面密度分布、平均进入深度和平均逸出距离，讨论了上述量与入射电子能量、能量损失窗口、探测角及样品体密度之间的关系，结果表明，入射电子能量、能量损失窗口和样品体密度对相互作用范围影响较大，而探测角对相互作用范围基本没有影响，最后指明了改变分析范围的途径。
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