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针对流动湿蒸汽湿度测量难度大、准确度差等难点,根据蒸汽与水的介电常数差异较大的特点,设计了一种同轴式圆筒形电容传感器,可实现蒸汽湿度的在线测量。采用NE555多谐振荡器电路对湿度信号进行测量,通过测量输出频率值来反映蒸汽湿度的大小,同时提出了一些提高传感器测量精度的方法。经标定后,该传感器既可用于在线测量气体的湿度,又可用来测量固体的水分含量。