【摘 要】
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制备了NaYF4∶Er3＋,Yb3＋纳米晶,表征了纳米晶的形貌,通过物理掺杂的方式将纳米粒子掺杂到SU-8中作为光波导放大器的芯层材料,优化了波导放大器的尺寸,利用旋涂、刻蚀等工艺,在
【机 构】
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吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点实验室、吉林省光通信聚合物波导器件工程实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金（61475061,61575076,61405070）, 吉林省省级产业创新专项资金（2016C019）资助项目.
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制备了NaYF4∶Er3＋,Yb3＋纳米晶,表征了纳米晶的形貌,通过物理掺杂的方式将纳米粒子掺杂到SU-8中作为光波导放大器的芯层材料,优化了波导放大器的尺寸,利用旋涂、刻蚀等工艺,在二氧化硅衬底上制备了光波导放大器。实验中用光漂白法和湿法刻蚀两种方法制备光波导放大器,分别给出了两种方法制备的器件的结构、工艺流程、光场模拟结果,并对两种方法制备的器件的放大特性进行了测试。测试结果表明,当980 nm波长的泵浦光功率为241 m W且1 550 nm波长的信号光功率为0.1 m W时,使用湿法刻蚀法制备的放
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