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介绍了一种新的镀膜技术－过滤式真空电弧离子镀膜技术。针对典型的过滤式真空电弧镀膜装置，描述了其结构组成，分析了它的工作原理，分析结果表明，该技术与传统真空电弧离子镀膜技术相比，可有效地消除宏观颗粒对镀层的污染，可广泛应用于制作各种微电子膜透明导电薄膜以及类金刚石薄膜。
过滤式真空电弧离子镀膜技术及应用
【摘 要】
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介绍了一种新的镀膜技术－过滤式真空电弧离子镀膜技术。针对典型的过滤式真空电弧镀膜装置，描述了其结构组成，分析了它的工作原理，分析结果表明，该技术与传统真空电弧离子镀膜技术
【机 构】
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五邑大学数学物理系
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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1997年2期
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