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本文主要采用超声喷镀法在玻璃衬底上制备了N-Al共掺的p型ZnO薄膜．研究了前驱溶液的不同配比对薄膜电学、结构特性的影响．X射线衍射的结果显示：共掺与本征ZnO具有很相似的结晶特性。霍耳测试结果表明：随着Al原子掺入量的逐渐增加，制备ZnO的类型逐渐由n型转换成p型，进一步提高后又转换成n型，文中对其中的原因进行了讨论。在普通玻璃衬底上制备出了空穴浓度达到4．6×10^18cm^-3，同时迁移率和电阻率分别为0．4cm^2·V^-1·s^-1、3．3Ω·cm的p型Z