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使用X射线衍射技术和高分辨率电子显微镜(HREM),分析研究了在非晶硅薄膜由非晶相向微晶相转化过程中其网络结构的变化特征,由此,给人们一个直观的信息,并加深对非晶硅薄膜微结构的认识。
非晶硅薄膜晶化过程中微结构的分析
【摘 要】
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使用X射线衍射技术和高分辨率电子显微镜(HREM),分析研究了在非晶硅薄膜由非晶相向微晶相转化过程中其网络结构的变化特征,由此,给人们一个直观的信息,并加深对非晶硅薄膜微
【机 构】
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南京大学物理系; 南京大学固体微结构物理实验室; 南京大学固体微结构物理实验室 南京; 210008; 南京; 210008;
【出 处】
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物理学报
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助的课题
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