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文中扼要的评述了热阴极电离真空计检漏的灵敏度,并进行了实验测定。其结果与已有的理论表示式是一致的。由此得到两种常用电离真空计的最高检漏灵敏度分别为10-8和10-11（托·升/秒）。最后分析了影响灵敏度的因素。
热阴极电离真空计检漏的灵敏度
【摘 要】
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文中扼要的评述了热阴极电离真空计检漏的灵敏度,并进行了实验测定。其结果与已有的理论表示式是一致的。由此得到两种常用电离真空计的最高检漏灵敏度分别为10-8和10-11（托·
【机 构】
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成都电讯工程学院,成都电讯工程学院,
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1984年01期
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