论文部分内容阅读
以金属钛为原料，采用氢等离子体金属反应法制备了纳米TiN颗粒。通过X射线衍射(XRD)，透射电镜(TEM)，扫描电镜(SEM)，X射线能谱(EDS)，热重一差热分析(TG-DSC)等手段对粒子的成分、形貌，相结构，热性能等进行了表征。实验结果表明：在氮气氛下，采用等离子体金属反应法可制备氮化钛纳米粒子，粒子粒径均匀，形状均为立方体，纯度高，分散性好，热稳定性好。