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探索了三类政府财政激励政策(政府补贴、高新技术企业税收减免和研发加计扣除税收减免)对不同所有权性质的高新技术企业创新绩效的激励机制及其差异,并构建了以研发资金投入和研发人力投入为中介变量的理论模型。选取2014—2016年河北省586家高新技术企业的数据,运用Bootstrap方法对模型进行实证分析。结果表明:高新技术企业税收减免政策对创新绩效的激励效应最强,其次是研发加计扣除税收减免,政府补贴的激励效果最弱;三类政府财政激励政策通过增加企业的研发资金投入和研发人力投入来激励企业创新;政府财政激励政策对私营企业创新绩效的激励效果优于国有企业,且政府补贴对国有企业的激励效果为负,但对私营企业的激励效果为正。