硅基二氧化硅阵列波导光栅的研究进展

来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户：greenboy

【摘要】

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阵列波导光栅（ＡＷＧ）是（密集）波分复用技术的关键器件之一。提高ＡＷＧ器件的性能和拓展ＡＷＧ器件的功能是ＡＷＧ器件发展的两大方向。综述了ＡＷＧ的串扰、波长响应展宽和偏振特性的

【作者】

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【机构】

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中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室!北京100083,国家光电子工艺中心!北京100083

【出处】

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半导体光电

【发表日期】

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1999年3期

【关键词】

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阵列波导光栅（ＡＷＧ）是（密集）波分复用技术的关键器件之一。提高ＡＷＧ器件的性能和拓展ＡＷＧ器件的功能是ＡＷＧ器件发展的两大方向。综述了ＡＷＧ的串扰、波长响应展宽和偏振特性的优化措施，以及以ＡＷＧ为基本器件构成的多种功能模块，如１６路上路／下路复用器、多波长环形激光器等

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