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三自由度机械手系统在工业上有着广泛的应用,其能否有效的运行取决于可靠性分析,论文通过对FMEA和FTA的总结和对比提出了综合分析的步骤和流程,并用该方法对某三自由度机械手系统进行了可靠性分析,建立了故障树(FTA)和故障模式影响及危害性分析表(FMEA),最后找到了系统薄弱环节并对各个薄弱环节进行评估.