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高输出功率紫外激光器在产业上主要用作超精细微加工光源而倍受关注.但市场上以往出售的高输出紫外激光器主要是准分子激光器,存在着装置大、工作效率低、使用腐蚀性气体、要更换气体、价格昂贵、维修成本高等缺点.
全固体化紫外激光技术
【摘 要】
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高输出功率紫外激光器在产业上主要用作超精细微加工光源而倍受关注.但市场上以往出售的高输出紫外激光器主要是准分子激光器,存在着装置大、工作效率低、使用腐蚀性气体、要
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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2000年5期
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