【摘 要】
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采用准分子激光微细加工方法,选用不同的工艺参数加工Al2O3陶瓷材料试件.通过表面轮廓仪测量并计算表面形貌统计参数.分析了激光加工工艺参数对表面形貌的影响,利用模糊分析
【机 构】
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南昌大学,清华大学,景德镇陶瓷学院
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采用准分子激光微细加工方法,选用不同的工艺参数加工Al2O3陶瓷材料试件.通过表面轮廓仪测量并计算表面形貌统计参数.分析了激光加工工艺参数对表面形貌的影响,利用模糊分析方法,就激光器的放大器电压、激光脉冲频率、激光扫描速度等工艺参数对表面形貌轮廓均方根值Rq的影响进行了评价.结果表明,Rq值随激光器的放大器电压和激光脉冲频率的增大而增大,随激光扫描速度的增大而减小.分析得出,激光加工工艺参数对表面形貌的影响程度不同,由大到小依次为激光扫描速度、激光脉冲频率、放大器电压.因此,可以通过合理地选择工艺参数获得
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